微电子工艺可靠性研究
杨虹 "重庆邮电学院
摘 要:可靠性是产品质量的重要组成部分，微电子工艺可靠性是保证IC产品可靠性的关键一环，从IC生产环节考虑，详细讨论了微电子工艺可靠性及其保证措施，重点讨论了原材料控制，设备与工艺控制与洁净环境控制的重要性，这些因素是生产高可靠性IC产品的有力保证。 (共4页)
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微电子工艺可靠性研究
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